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央视《新闻联播》关注光刻胶技术难题 晶瑞股份携手姑苏实验室开展联合攻关

来源:杏彩体育官网登录入口发表日期:2023-12-15 01:41:00浏览量:1

  近日,据央视《新闻联播》报道,在苏州工业园区材料科学姑苏实验室,来自全国的十几位材料科学领域研究人员,正围绕苏州一家公司提出的光刻胶技术难题开展联合攻关。

  据悉,姑苏实验室是江苏省重点科创实验室,总投资200个亿。实验室瞄准国家战略需求和苏州未来产业高质量发展方向,汇聚全球科学技术人才解决产业发展中的“卡脖子”问题。虽然成立不到一年,但实验室已经在高端材料生长系统、人工智能材料大数据、光谱成像芯片三个方向取得重要进展。

  创新是企业核心竞争力的源泉,很多核心技术是求不到、买不来的。众所周知,光刻机被誉为半导体制造业皇冠上的明珠,是发展国产芯片的关键技术。而光刻胶作为生产芯片的关键材料、高值耗材产品,目前主要被日本、美国企业垄断,成为我国芯片产业高质量发展所面临的一大难题。

  科技如何自立自强,“卡脖子”的核心技术如何突破?业内人士指出,这一方面需要顶层设计支持,另一方面也需要从事实体经济的企业勇于投入科研攻关。在光刻胶领域,这一趋势越来越明显,特别是近年来我国芯片产业开始高速发展,对于光刻胶的需求就更加明显了。

  据悉,携手姑苏实验室联合攻关光刻胶技术难题的苏州企业正是晶瑞股份(300655)。据介绍,晶瑞股份是国内最早实现光刻胶规模量产的领先企业,公司致力于打造微电子材料企业联合体,突破中国半导体行业关键卡脖子材料。目前,公司生产的负胶已完全实现国产替代,i线光刻胶批量供应S公司、长鑫等主流半导体厂。

  2021年1月19日,晶瑞股份经多方协商、积极运作购得的ASML XT 1900 Gi型光刻机,运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。市场人士分析称,此举有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越,并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。

  数据显示,2019年我国g线/i线%,KrF光刻胶自给率不足5%,ArF光刻胶则完全依赖进口,作为高值耗材的产品,我国每年都需要从海外大量进口光刻胶,这显然是不利于国内半导体产业高质量发展的情况。

  晶瑞股份表示,目前公司已完成中试的KrF光刻胶已进入客户测试阶段,达到0.15μm的分辨率。后续,公司将继续加强科研攻坚,提升关键设备的技术先进性,加快产品研制项目,以科技自立自强支撑实业的发展。相信,只要中国企业能够脚踏实地干下去,就必定可以打破海外的技术封锁,实现半导体产业完全自主。

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