光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分构成的对光灵敏的混合液体。出产光刻胶的质料包含光引发剂（包含光增感剂、光致产酸剂）、光刻胶树脂、单体及其他助剂等。详细如下图所示：

  出产光刻胶的质料包含光刻胶树脂、单体、光引发剂（包含光增感剂、光致产酸剂）及其他助剂等。多个方面数据显现，树脂占光刻胶总成本的50%，在光刻胶各成分中占比最大，其次是占35%的单体和占15%的光引发剂及其他助剂。

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