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可用于130nm工艺 国产高端光刻胶已量产:打破美日独占

来源:杏彩体育官网登录入口发表日期:2024-02-06 21:05:44浏览量:1

  除了光刻机之外,先进半导体工艺还依靠光刻胶,这方面的供给也主要是靠美日等公司,现在国产光刻胶现已在部分范畴获得打破,晶瑞电材日前泄漏他们的光刻胶已能用于0.25-0.13um工艺,也便是250-130nm工艺。

  子公司瑞红(姑苏)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了0.25~0.13m 的技能方面的要求,现已过部分重要客户测验,KrF高端光刻胶部分种类已量产。

  公司子公司瑞红(姑苏)电子化学品股份有限公司凭仗强壮的研制实力和杰出的产品的长处,获得了下流客户的认证,开辟并维系了一大批国内外优质客户,构建了优质的事务渠道并成功进入优异客户的供给链。

  据了解,晶瑞电材是国内最早从事光刻胶出产的企业之一,现在现已获得合肥长鑫、士兰微、扬杰科技、福顺微电子、中芯世界等国内企业的供货订单。

  光刻胶有不同的技能类别,低端的中g线/i线%,KrF光刻胶自给率缺乏5%,而高端的ArF光刻胶彻底依靠进口,是国内半导体的卡脖子技能之一。

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