5月27日，据工业新闻媒体报道，因为日本信越化学KrF光刻胶产能缺乏等原因，导致我国大陆多家晶圆厂KrF光刻胶供给严重，部分中小晶圆厂KrF光刻胶甚至会呈现了断供!

  据悉，信越化学之所以中止供货部分晶圆厂KrF光刻胶，与数月前日本福岛东部海域产生7.3级地震有极大相关。半导体光刻胶是光刻进程的要害耗材，光刻胶的质量和功能对光刻工艺有着重要影响，因其技能壁垒高而长时间被海外大厂所主导，是半导体国产化的一道大坎。

  依据SEMI数据，日本几大厂商在g线/i线、KrF、ArF胶商场中市占率分别为61%、80%、93%，而国内g线%，KrF光刻胶的自给率缺乏5%，12寸硅片的ArF光刻胶现在尚无国内公司可以大规模出产。依据智研咨询猜测，2022年我国大陆半导体光刻胶商场空间将会挨近55亿元，是2019年的两倍。

  以日本半导体光刻胶开展史为鉴，我国国产半导体光刻胶迎来开展良机。上市公司中，晶瑞股份KrF(248nm深紫外)光刻胶完结中试，产品分辨率达到了0.25-0.13μm的技能方面的要求，i线光刻胶近年已向中芯世界等企业供货。上海新阳开发的365nm I线nm ArF干法及湿法光刻胶可习惯国内0.35-0.11微米、90-28纳米芯片工艺技能节点的需求。南大光电自主研制的ArF光刻胶产品成功经过下流客户的运用认证，成为经过产品验证的榜首只国产ArF光刻胶，已完结的产线吨。